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파티클카운터/먼지측정기 MetOne 3411 (정밀급)
* 무균실, 환경 모니터링, Cleanroom validation 입자계수 요구에 최적화된 장비
* ISO 14644 에 최적화
* 측정 볼륨 자동환산가능
* EU / ISO 규격 선택이 가능
* 선택한 규격에 따른 측정용량, 횟수 및 시간자동계산이 바로 적용되어 빠르게 샘플링 가능하고 Raw data 즉시 출력 및 PDF 파일 다운가능
* 휴대가 간편하고 외장 배터리로 8 시간까지 연속측정이 가능
* 외부 충전기로도 충전가능
* 터치스크린, 프린터 내장, 데이터 다운로드 가능
* 풍속센서와 온/습도 센서 창착 가능
* LAF Unit, Clean Bench 및 BSC 환경 모니터링시 별도의 센서 설치 필요없이 모니터링 가능 (옵션)
* 압축공기 감압 디퓨저를 연결하여 Compressed air / Gas, N2 등 공정용 미립자 측정 가능
제품특징
먼지 배기 팬이 없는 유일한 0.1㎛ 파티클카운터
2) 기기의 능력을 100% 발휘시켜 주는 교체형 배터리
배터리를 교체할 수 있기 때문에 측정 도중에 기기를 정지시키거나, 전원을 껐다 켜야 하는 불편이 없습니다.
3) 클린룸을 청결하게 유지할 수 있도록 손쉽게 이용할 수 있는 테스트 마법사
반도체 제조 공정을 모니터하는데 발생되는 비용과 에러를 줄여줍니다.
4) 순차적 샘플링과 매니폴드 시스템
MET ONE 3411를 통해 최대 32개 지점을 순차적으로 샘플링 할 수 있습니다.
5) 손쉬운 설정과 데이터 전송이 가능한 자유로운 통신 환경
무선 이더넷과 MET ONE Data Management, 또는 이미 사용하고 있는 소프트웨어를 통해 자유롭게 데이터를 공유하여 문서
작업을 줄일 수 있습니다.
6) 직관적인 사용자 인터페이스
측정 지점과 환경에 따라 샘플링 플랜을 손쉽게 설정하여 조작 소요 시간을 줄여줍니다.
설정 상태를 USB 메모리 스틱을 전송하여 설정 에러와 소요 시간을 줄여주고, 설정된 샘플링 플랜을 파티클 카운트 작업 내내
저장, 유지합니다.
7) ISO 21501-4 수준의 신뢰도와 정확도
ISO 21501-4 레벨에 준하는 기기 정확도와 재현성을 보장하는 뛰어난 파티클카운트 능력
| 제품사양 | |
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Number
of Size Channels |
6 ch |
| Particle Sizes | 0.1μm, 0.2, 0.3, 0.5, 1.0, 5.0μm |
| Light Source | Helium Neon Laser |
| Weight | Without battery: 15.9 kg (35 lbs), Battery: 0.66 kg (1.45 lbs) |
| Dimensions | 33 W x 55.9 D x 22.9 H cm (13 x 22 x 9 inches) |
| Enclosure | Easy to clean Stainless Steel |
| Flow Rate | 1.0 CFM (28.3 LPM) |
| Zero Count | ISO 21501-4 and JIS B 9921: 1 count or less in 5 minutes, 95% UCL |
| Coincidence Loss | 5% at 50,000 /ft3 per ISO 21501-4 method |
| Pump | Patented multi-lobe closed loop controlled rated for continuous use |
| Counting Efficiency | 50% at 0.1 μm; 100% for particles > 0.15 μm per ISO 21501-4 and JIS B 9921 |
| Operating Temperature | 10° to 40°C (50° to 104°F); 10 to 90% relative humidity, non-condensing |
| Display | ¼ VGA Color TFT touch screen |
| Printer | High speed thermal |
| Language | English, French, German, Italian, Spanish, Korean*, Japanese*, Chinese |
| Maximum Count Displayed | 9,999,999 displayed |
| Delay Time | 15 seconds to 23 hours 59 minutes 59 seconds |
| Sample/Hold Times | 1 second to 23 hours 59 minutes 59 seconds |
| Count Alarms | 1 to 9,999,999 counts |
| Locations | ID: 0 to 999; NAME: Alphanumeric, appears on printout |
| Data Storage | 5,000 samples, scrollable on Historical Data review screen (FIFO or Overflow) |
| Outputs | USB Client (Version 1.1) USB Host (Version 1.1) RS-485 Ethernet with TCP/IP protocol Wireless with |
| 802.11g protocol (optional) Met One 3432 manifold Auxiliary (alarm and scan probe) | |
| Communication Protocol | Modbus TCP , Modbus RTU , Serial FX |
| Inputs | Air Velocity Probe, RH/Temperature Probe |
| Auto CDA Purge | Purge solenoid activated by connection to Clean Dry Air source |
| Power | 24 VDC with 100-240 VAC, 50/60 Hz adapter |
| Battery Type | Lithium ion smart battery; rechargeable, ejectable, and hot-swappable |
| Battery Operating Time | 3 hours minimum |
| Battery Recharge Time | 6.75 hours minimum, 10 hours maximum |
| Battery Quantity Included | 2 each |
